工業(yè)CT現(xiàn)有X射線斷層掃描(XCT)、康普頓散射斷層掃描(CST)、穆斯堡爾效應(yīng)斷層掃描(MCT)等。主要應(yīng)用于工業(yè)在線過程的實(shí)時(shí)檢測和大型工業(yè)部件的無損檢測。工業(yè)CT與傳統(tǒng)的X射線探傷機(jī)和工業(yè)電視相比,具有空間分辨率高、無損檢測、速度快等特點(diǎn),因而在工業(yè)產(chǎn)品的檢測中具有其他方法無可取代的作用。在X射線實(shí)時(shí)成像設(shè)備方面,可用于在線檢測熱軋無縫鋼管中的氣孔、劃痕、裂縫、分層等各種缺陷,同時(shí)給出鋼管的壁厚、同心度、單位長度的重量等;亦可用于發(fā)電設(shè)備的實(shí)時(shí)檢測。在大型部件檢測方面,特別適用于火箭、核燃料元件、、飛機(jī)發(fā)動(dòng)機(jī)等的無損檢測。大型工業(yè)CT的主要技術(shù)指標(biāo)大約為待測物體直徑1—2.5米,有效掃描高度2—8米,大承重可達(dá)數(shù)十噸,空間分辨率為1線對/毫米,密度分辨率0.5%,裂紋分辨0.05毫米×15毫米,掃描時(shí)間每層3分鐘,圖像重建時(shí)間6秒,工作臺(tái)平移空位精度0.02毫米,工作臺(tái)旋轉(zhuǎn)空位精度10角秒。所用的輻射裝置可用X射線機(jī)、加速器,亦可用60Co、137Cs或192Ir的γ射線源。由于工業(yè)CT技術(shù)的發(fā)展,使用微焦點(diǎn)工業(yè)CT,并配備高級的CMOS平板探測器,可得到更好的信噪比和清晰度,因而可被用于電子半導(dǎo)體及電子元器件的檢測和失效分析。
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